Research Article
A Nonparametric Scheme for Monitoring a Process Output with a Block Effect
Table 2
Thickness (μm) of wafers. P indicates position of wafer.
| Time | Block | P1 | Rank | P2 | Rank | P3 | Rank | P4 | Rank | P5 | Rank |
| | 1 | | | | | | | | | | | | 2 | | | | | | | | | | | | 3 | | | | | | | | | | | | R1.j | | | | | | | | | |
11
| | D1.j | | | | | | | | | | | | 1 | | | | | | | | | | | | 2 | | | | | | | | | | | | 3 | | | | | | | | | | | | R2.j | | | | | | | | | | | | D2.j | | | | | | | | | | | | 1 | | | | | | | | | | | | 2 | | | | | | | | | | | | 3 | | | | | | | | | | | | R3.j | | | | | | | | | | | | D3.j | | | | | | | | | | | | 1 | | | | | | | | | | | | 2 | | | | | | | | | | | | 3 | | | | | | | | | | | | R4.j | | | | | | | | | | | | D4.j | | | | | | | | | | | | 1 | | | | | | | | | | | | 2 | | | | | | | | | | | | 3 | | | | | | | | | | | | R5.j | | | | | | | | | | | | D5.j | | | | | | | | | | | | 1 | | | | | | | | | | | | 2 | | | | | | | | | | | | 3 | | | | | | | | | | | | R6.j | | | | | | | | | | | | D6.j | | | | | | | | | | | | 1 | | | | | | | | | | | | 2 | | | | | | | | | | | | 3 | | | | | | | | | | | | R7.j | | | | | | | | | | | | D7.j | | | | | | | | | | | | 1 | | | | | | | | | | | | 2 | | | | | | | | | | | | 3 | | | | | | | | | | | | R8.j | | | | | | | | | | | | D8.j | | | | | | | | | | | | 1 | | | | | | | | | | | | 2 | | | | | | | | | | | | 3 | | | | | | | | | | | | R9.j | | | | | | | | | | | | D9.j | | | | | | | | | | | | 1 | | | | | | | | | | | | 2 | | | | | | | | | | | | 3 | | | | | | | | | | | | R10.j | | | | | | | | | | | | D10.j | | | | | | | | | | |
|
|