651587.fig.004a
(a)
651587.fig.004b
(b)
651587.fig.004c
(c)
651587.fig.004d
(d)
651587.fig.004e
(e)
Figure 4: AFM morphologies of the ITiO film at different RF powers. (a) 220 W, (b) 250 W, (c) 280 W, (d) 300 W, (e) 350 W.