651587.fig.005a
(a)
651587.fig.005b
(b)
651587.fig.005c
(c)
651587.fig.005d
(d)
Figure 5: AFM morphologies of the ITiO film at different Ar gas pressures. (a) 5 mTorr, (b) 10 mTorr, (c) 15 mTorr, (d) 20 mTorr.