Electron-Collision-Induced Dissociative Ionization Cross Sections for Silane

Table 1

Table for the partial ionization cross sections for SiH₄ by electron impact.

𝐸 (eV)	𝑄𝑖(𝐸)(10^−16cm^2)
	SiH3^+	SiH2^+	SiH^+	Si^+	H2^+	H^+	Total
20	0.71	1.00	0.14	0.17			2.02
30	1.39	1.81	0.43	0.34	0.01	0.04	4.02
40	1.63	2.10	0.56	0.45	0.02	0.11	4.87
50	1.71	2.18	0.60	0.49	0.02	0.15	5.15
60	1.70	2.16	0.60	0.50	0.03	0.16	5.16
70	1.66	2.11	0.59	0.50	0.03	0.17	5.05
80	1.61	2.03	0.57	0.48	0.03	0.17	4.89
90	1.54	1.95	0.54	0.47	0.03	0.17	4.70
100	1.48	1.87	0.52	0.45	0.03	0.17	4.51
125	1.34	1.69	0.46	0.41	0.02	0.16	4.07
150	1.22	1.53	0.41	0.37	0.02	0.14	3.69
200	1.03	1.29	0.34	0.31	0.02	0.12	3.11
250	0.89	1.12	0.29	0.26	0.02	0.11	2.69
300	0.79	0.99	0.26	0.23	0.01	0.09	2.37
400	0.64	0.81	0.21	0.19	0.01	0.08	1.93
500	0.55	0.68	0.17	0.16	0.01	0.06	1.63
600	0.48	0.60	0.15	0.14	0.01	0.06	1.42
700	0.42	0.53	0.13	0.12	0.01	0.05	1.26
800	0.38	0.48	0.12	0.11	0.01	0.04	1.14
900	0.35	0.44	0.11	0.10	0.01	0.04	1.03