Production of Nanopowders of Metal Oxides Using Pulsed Electron Beam in Low Pressure Gas

Table 5

Composition of the targets and the elemental composition of Al₂O₃-Al (Cu) NPs as determined by the ICP method.

Target composition (wt % Cu)	Element in PEB NPs (wt. %)
	Cu	Fe	Cr	Ni	Si
Al2O3	<0,02	0,0607 ± 0,01	0,0030 ± 0,01	<0,00 ± 1	0,3857 ± 0,1
Al2O3-Al	0,0086 ± 0,0008	0,0387 ± 0,004	0,0005 ± 0,0001	0,0005 ± 0,0001	0,46 ± 0,1
Al2O3 (1,72)	1,72 ± 0,3	0,1335 ± 0,03	0,0018 ± 0,0003	<0,0001	0,5080 ± 0,1
Al2O3 (11,19)	11,19 ± 1,1	0,0509 ± 0,005	0,0009 ± 0,0001	0,0009 ± 0,0001	0,10 ± 0,03
Al2O3 (17,22)	17,22 ± 1,7	0,0628 ± 0,006	0,0015 ± 0,0002	0,0008 ± 0,0001	0,31 ± 0,03