Optimum Barrier Height for SiC Schottky Barrier Diode

Table 5

Optimization results for the third section.

Results	𝑉	𝜙𝑚 (eV)	𝑁𝐴 (cm^−3)	𝑁𝑚 (cm^−3)	𝑁𝑓 (cm^−3)	𝐷it (cm^−3)	𝑑ox (cm)	𝜙𝐵 (V)
Maximize	0	3.5	7𝐸15	4𝐸12	1𝐸12	1𝐸13	7.5𝐸−7	3.328
Minimize	0	3.5	1𝐸15	1𝐸13	1𝐸13	1𝐸12	1.1𝐸−7	2.42
Maximize	0	4.1	1𝐸16	1𝐸12	1𝐸12	1𝐸13	1.1𝐸−7	2.94
Minimize	0	4.1	1𝐸15	1𝐸13	1𝐸13	1𝐸12	1.1𝐸−7	1.79
Maximize	0	4.4	1𝐸16	1𝐸12	1𝐸12	1𝐸13	1.1𝐸−7	2.92
Minimize	0	4.4	1𝐸15	1𝐸13	1𝐸13	1𝐸12	1.1𝐸−7	1.47
Maximize	0	4.69	1𝐸16	1𝐸12	1𝐸12	1𝐸13	1.1𝐸−7	2.9
Minimize	0	4.69	1𝐸15	1𝐸13	1𝐸13	1𝐸12	1.1𝐸−7	1.16
Maximize	0	5.1	1𝐸16	1𝐸12	1𝐸12	1𝐸13	1.1𝐸−7	2.83
Minimize	0	5.1	1𝐸15	1𝐸13	1𝐸13	1𝐸12	1.1𝐸−7	0.73
Maximize	1	3.5	6𝐸15	2𝐸12	3𝐸12	9𝐸12	9.5𝐸−8	3.32
Minimize	1	3.5	1𝐸15	1𝐸13	1𝐸13	1𝐸12	1.1𝐸−7	137
Maximize	1	4.1	1𝐸16	1𝐸12	1𝐸12	1𝐸13	1.1𝐸−7	3.09
Minimize	1	4.1	1𝐸15	1𝐸13	1𝐸13	1𝐸12	1.1𝐸−7	0.73
Maximize	1	4.4	1𝐸16	1𝐸12	1𝐸12	1𝐸13	1.1𝐸−7	2.47
Minimize	1	4.4	1𝐸15	1𝐸13	1𝐸13	1𝐸12	1.1𝐸−7	0.42
Maximize	1	4.69	1𝐸16	1𝐸12	1𝐸12	1𝐸13	1.1𝐸−7	1.88
Minimize	1	4.69	1𝐸15	1𝐸13	1𝐸13	1𝐸12	1.1𝐸−7	0.028
Maximize	1	5.1	1𝐸16	1𝐸12	1𝐸12	1𝐸13	1.1𝐸−7	3.328
Minimize	1	5.1	1𝐸15	1𝐸13	1𝐸13	1𝐸12	1.1𝐸−7	0.028