Development of a Flat Type Six-Axis Stage Based on Piezoelectric Actuators

Table 1

Parameters of the general differential model for each piezoelectric actuator.

	0.131	0.090	0.057
	0.131	0.090	0.057
	0.139	0.097	0.048
	0.133	0.093	0.053
	0.142	0.086	0.096
	0.131	0.078	0.091
	0.130	0.077	0.098