Research on Two-Stage Joint Optimization Problem of Green Manufacturing and Maintenance for Semiconductor Wafer

Table 10

Experimental result comparison of IHMMVO, MMVO, and MSSA.

Cases	IHMMVO			MMVO			MSSA
	SP	GD	IGD	SP	GD	IGD	SP	GD	IGD
10 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 3	0.2111	0.0351	0.1042	0.2288	0.1092	0.2737	0.4912	0.1551	0.4199
10 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 4	0.1445	0.0147	0.0484	0.1789	0.0898	0.2943	0.2559	0.0684	0.2558
10 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 5	0.1291	0.0261	0.1321	0.1761	0.0536	0.2305	0.1842	0.0883	0.2977
10 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 3	0.2960	0.0211	0.0634	0.2084	0.0848	0.2788	0.3067	0.0973	0.3282
10 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 4	0.2129	0.0118	0.0316	0.1105	0.0493	0.2209	0.2158	0.1193	0.3420
10 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 5	0.1290	0.0332	0.0674	0.2275	0.0972	0.3036	0.3259	0.1255	0.3944
10 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 3	0.1984	0.0492	0.1176	0.1950	0.0806	0.2519	0.4591	0.1627	0.4179
10 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 4	0.1591	0.0318	0.1296	0.1700	0.0556	0.1689	0.1173	0.1003	0.3046
10 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 5	0.1364	0.0208	0.0687	0.1797	0.0413	0.1229	0.3332	0.1524	0.4083
10 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 3	0.1487	0.0204	0.0782	0.1464	0.0373	0.1510	0.1182	0.0832	0.3044
10 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 4	0.1134	0.0114	0.0692	0.1088	0.0226	0.1128	0.2637	0.1362	0.3881
10 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 5	0.1044	0.0103	0.0453	0.1295	0.0186	0.1189	0.1599	0.0503	0.2027
10 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 3	0.1767	0.0283	0.1125	0.1589	0.0423	0.1576	0.1936	0.1144	0.2736
10 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 4	0.1357	0.0120	0.0447	0.1592	0.0441	0.2020	0.2112	0.0723	0.2319
10 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 5	0.1007	0.0154	0.0719	0.1399	0.0397	0.1880	0.2064	0.0718	0.2581
10 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 3	0.1146	0.0078	0.0432	0.1810	0.0428	0.1819	0.2413	0.0645	0.2459
10 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 4	0.0946	0.0056	0.0305	0.0832	0.0276	0.1281	0.2211	0.0703	0.2024
10 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 5	0.0840	0.0093	0.0629	0.1007	0.0179	0.1166	0.2063	0.0639	0.2406
20 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 5	0.1833	0.0194	0.0565	0.1716	0.0645	0.2204	0.3157	0.1192	0.3174
20 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 6	0.1694	0.0337	0.1099	0.1775	0.0499	0.1543	0.3961	0.1242	0.3253
20 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 7	0.1814	0.0210	0.0681	0.1912	0.0588	0.2030	0.1793	0.1053	0.3042
20 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 5	0.1618	0.0140	0.0681	0.2094	0.0458	0.1733	0.2015	0.0707	0.2335
20 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 6	0.1335	0.0254	0.0764	0.1593	0.0529	0.2180	0.2362	0.0929	0.2714
20 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 7	0.1434	0.0193	0.0737	0.1556	0.0633	0.2080	0.3405	0.1122	0.3353
20 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 5	0.1837	0.0170	0.0914	0.1662	0.0554	0.1712	0.2963	0.0916	0.2387
20 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 6	0.1766	0.0225	0.1134	0.1900	0.0381	0.1651	0.2844	0.1083	0.3180
20 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 7	0.1873	0.0272	0.0807	0.2290	0.0515	0.2015	0.3201	0.1125	0.3471
20 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 5	0.2254	0.0434	0.1436	0.1568	0.0536	0.1769	0.1780	0.0789	0.2320
20 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 6	0.1333	0.0258	0.0670	0.2002	0.0455	0.1692	0.1852	0.0853	0.2867
20 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 7	0.1573	0.0404	0.1235	0.1767	0.0901	0.2785	0.2100	0.1275	0.3291
20 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 5	0.2091	0.0117	0.0746	0.1981	0.0590	0.2157	0.3242	0.1135	0.3237
20 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 6	0.1411	0.0284	0.0982	0.1772	0.0398	0.1257	0.1394	0.0848	0.2450
20 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 7	0.1205	0.0248	0.1080	0.1819	0.0547	0.2060	0.3256	0.0732	0.2785
20 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 5	0.1996	0.0565	0.1985	0.2230	0.0402	0.1414	0.2734	0.1031	0.3560
20 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 6	0.1981	0.0234	0.0988	0.1317	0.0428	0.1553	0.2952	0.1318	0.3438
20 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 7	0.0958	0.0055	0.0421	0.1121	0.0259	0.1329	0.1731	0.0565	0.2503
30 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 7	0.2310	0.0521	0.1779	0.1998	0.0640	0.2414	0.3125	0.1513	0.3938
30 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 8	0.1667	0.0034	0.0479	0.2133	0.0608	0.2220	0.4183	0.1228	0.4149
30 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 9	0.2160	0.0197	0.0695	0.1413	0.0711	0.2354	0.2631	0.1744	0.4338
30 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 7	0.2547	0.0493	0.1380	0.2777	0.0610	0.1945	0.2641	0.0872	0.2833
30 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 8	0.2812	0.0883	0.2083	0.1767	0.0625	0.1643	0.2840	0.1277	0.3452
30 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 9	0.3230	0.0382	0.1164	0.1678	0.0721	0.2387	0.3144	0.1849	0.3605
30 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 7	0.1680	0.0062	0.0297	0.1288	0.0646	0.2076	0.3130	0.1581	0.4306
30 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 8	0.1596	0.0289	0.1026	0.1765	0.0576	0.1709	0.3042	0.1248	0.3437
30 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 9	0.1712	0.0733	0.2042	0.2399	0.0805	0.2547	0.5323	0.1496	0.3852
30 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 7	0.2274	0.0680	0.1719	0.2096	0.1028	0.2930	0.5621	0.1844	0.4635
30 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 8	0.1231	0.0354	0.1427	0.1321	0.0404	0.1579	0.2152	0.1119	0.3282
30 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 9	0.1460	0.0273	0.1176	0.2230	0.0598	0.2031	0.4261	0.1177	0.3573
30 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 7	0.2043	0.0447	0.1333	0.1698	0.0642	0.2350	0.3514	0.1271	0.3313
30 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 8	0.1673	0.0565	0.1103	0.2434	0.0777	0.2365	0.1714	0.1759	0.3362
30 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 9	0.1879	0.0603	0.1654	0.1465	0.0460	0.1801	0.2571	0.1383	0.3494
30 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 7	0.1654	0.0284	0.0714	0.3713	0.1120	0.3180	0.2981	0.0995	0.3402
30 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 8	0.2027	0.0312	0.0775	0.1340	0.0509	0.2127	0.2732	0.1354	0.3612
30 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 9	0.1116	0.0169	0.0588	0.1325	0.0346	0.1621	0.1676	0.0780	0.2187
40 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 9	0.2580	0.0000	0.0150	0.1020	0.2355	0.2355	0.3105	0.1261	0.2428
40 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 10	0.1923	0.0216	0.0900	0.1749	0.0646	0.1941	0.2886	0.0953	0.3135
40 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 11	0.2267	0.0504	0.1641	0.1435	0.0525	0.1884	0.2550	0.1579	0.3280
40 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 9	0.2595	0.0352	0.1224	0.1887	0.0564	0.2044	0.3557	0.1985	0.4714
40 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 10	0.1749	0.0228	0.0914	0.1961	0.0532	0.2090	0.3160	0.1279	0.3693
40 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 11	0.1190	0.0543	0.1774	0.1332	0.0728	0.2147	0.4126	0.1425	0.3818
40 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 9	0.3196	0.1227	0.2472	0.2467	0.1090	0.2966	0.3736	0.1264	0.3513
40 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 10	0.2265	0.0422	0.1361	0.2933	0.0652	0.2226	0.2682	0.1447	0.4057
40 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 11	0.2202	0.0255	0.0765	0.2498	0.0541	0.1677	0.3620	0.1869	0.3318
40 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 9	0.2299	0.0637	0.1699	0.2626	0.0724	0.2493	0.3363	0.1057	0.3606
40 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 10	0.1372	0.0365	0.1183	0.2655	0.0735	0.2437	0.3855	0.1329	0.3697
40 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 11	0.2563	0.0198	0.0614	0.2581	0.0607	0.1985	0.5137	0.1728	0.4426
40 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 9	0.1658	0.0424	0.1410	0.2285	0.0738	0.2398	0.2372	0.2051	0.4509
40 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 10	0.1344	0.0518	0.0981	0.3289	0.0254	0.0757	0.1929	0.1833	0.3366
40 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 11	0.1735	0.0320	0.1288	0.1214	0.0720	0.2185	0.2911	0.1492	0.3943
40 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 9	0.2417	0.0236	0.0771	0.1682	0.0695	0.2029	0.2877	0.2038	0.4049
40 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 10	0.3215	0.0083	0.0234	0.1557	0.0904	0.2742	0.2018	0.1802	0.3564
40 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 11	0.1624	0.0531	0.1381	0.2564	0.1118	0.3091	0.5177	0.1482	0.3666
50 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 11	0.2166	0.0537	0.1364	0.1881	0.1017	0.2887	0.2644	0.1725	0.3732
50 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 12	0.2169	0.0150	0.0583	0.1846	0.0542	0.2119	0.2241	0.1210	0.3495
50 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 13	0.2045	0.0368	0.1039	0.2645	0.0909	0.3295	0.2274	0.2018	0.4640
50 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 11	0.2773	0.0752	0.1534	0.3035	0.1322	0.3485	0.2519	0.1989	0.4616
50 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 12	0.3066	0.0925	0.2462	0.1523	0.0909	0.2790	0.3709	0.2361	0.4576
50 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 13	0.2241	0.0160	0.0671	0.1557	0.0631	0.2129	0.3143	0.1690	0.4525
50 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 11	0.1641	0.0261	0.0741	0.1321	0.0629	0.2408	0.3091	0.1342	0.3434
50 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 12	0.2204	0.0578	0.1773	0.2047	0.0261	0.0965	0.2712	0.1006	0.2909
50 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 13	0.2122	0.0442	0.1612	0.2037	0.0657	0.2182	0.2470	0.0938	0.3015
50 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 11	0.2491	0.0727	0.2006	0.2207	0.0770	0.2553	0.3589	0.2028	0.4872
50 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 12	0.2071	0.0194	0.0735	0.1426	0.0706	0.2373	0.1902	0.1747	0.4244
50 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 13	0.2149	0.0451	0.1511	0.2246	0.0630	0.1912	0.3652	0.1059	0.2977
50 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 11	0.1617	0.0387	0.1454	0.1688	0.0642	0.2320	0.3143	0.1248	0.3920
50 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 12	0.1642	0.0430	0.1435	0.1551	0.0870	0.2182	0.1815	0.1317	0.3426
50 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 13	0.1894	0.0454	0.1295	0.2769	0.1238	0.2686	0.5330	0.1729	0.4383
50 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 11	0.2460	0.0287	0.1046	0.2150	0.0639	0.2436	0.2273	0.1755	0.4135
50 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 12	0.1911	0.0873	0.2021	0.2173	0.0841	0.2384	0.3899	0.1646	0.4175
50 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 13	0.1931	0.0779	0.1859	0.2398	0.0798	0.2171	0.3755	0.2248	0.4421