Research on Two-Stage Joint Optimization Problem of Green Manufacturing and Maintenance for Semiconductor Wafer

Table 11

Experimental result comparison of IHMMVO, NSGA-II, and MOPSO.

Cases	IHMMVO			NSGA-II			MOPSO
	SP	GD	IGD	SP	GD	IGD	SP	GD	IGD
10 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 3	0.1496	0.0114	0.0214	0.2228	0.1220	0.3443	0.2214	0.0874	0.2860
10 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 4	0.1913	0.0222	0.0746	0.2772	0.1132	0.3268	0.1881	0.0728	0.2473
10 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 5	0.2432	0.0209	0.0544	0.2249	0.1192	0.3119	0.2319	0.0924	0.2576
10 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 3	0.1511	0.0179	0.0602	0.2392	0.1075	0.2903	0.2383	0.0763	0.2610
10 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 4	0.1569	0.0147	0.0423	0.4381	0.1234	0.3865	0.1919	0.0651	0.2390
10 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 5	0.1476	0.0004	0.0068	0.3057	0.0800	0.2660	0.1952	0.0718	0.2466
10 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 3	0.1465	0.0094	0.0248	0.3124	0.1311	0.3478	0.2375	0.0933	0.2863
10 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 4	0.1569	0.0142	0.0464	0.2149	0.1743	0.3086	0.2935	0.0968	0.2570
10 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 5	0.1875	0.0102	0.0264	0.2880	0.1739	0.3256	0.2563	0.0844	0.2340
10 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 3	0.1861	0.0094	0.0312	0.2639	0.1598	0.3892	0.1758	0.0874	0.2632
10 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 4	0.1355	0.0100	0.0294	0.2797	0.1047	0.3226	0.1737	0.1024	0.2766
10 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 5	0.1945	0.0142	0.0502	0.2542	0.1202	0.3098	0.1537	0.0666	0.2144
10 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 3	0.2221	0.0220	0.0755	0.2965	0.1007	0.2773	0.2068	0.1219	0.2672
10 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 4	0.1733	0.0048	0.0187	0.2367	0.1251	0.3323	0.2024	0.0802	0.2624
10 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 5	0.1800	0.0101	0.0336	0.2202	0.1031	0.3052	0.2074	0.0606	0.2236
10 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 3	0.1947	0.0088	0.0343	0.2032	0.1341	0.3700	0.2596	0.1154	0.3584
10 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 4	0.1851	0.0128	0.0546	0.2653	0.1155	0.3100	0.2608	0.0697	0.2533
10 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 5	0.1183	0.0129	0.0528	0.2583	0.0774	0.2656	0.1846	0.0528	0.1955
20 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 5	0.2346	0.0045	0.0049	0.2913	0.1171	0.3346	0.2769	0.1098	0.2620
20 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 6	0.1332	0.0137	0.0390	0.4063	0.1255	0.3818	0.2866	0.0875	0.3024
20 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 7	0.1617	0.0103	0.0358	0.2988	0.1031	0.3000	0.2462	0.0797	0.2592
20 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 5	0.1277	0.0066	0.0127	0.3383	0.1149	0.3156	0.1578	0.0682	0.2148
20 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 6	0.1635	0.0131	0.0531	0.3107	0.1383	0.3316	0.2368	0.0979	0.2929
20 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 7	0.1171	0.0033	0.0094	0.2986	0.0782	0.2499	0.1634	0.0603	0.2333
20 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 5	0.1461	0.0265	0.0741	0.2586	0.1349	0.3585	0.3942	0.1171	0.3562
20 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 6	0.1840	0.0145	0.0504	0.2142	0.1161	0.2747	0.1662	0.1235	0.2494
20 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 7	0.1736	0.0128	0.0425	0.2102	0.0967	0.2755	0.2455	0.0846	0.2749
20 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 5	0.2136	0.0000	0.0360	0.1756	0.1004	0.2870	0.3895	0.1135	0.3041
20 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 6	0.1780	0.0039	0.0150	0.2095	0.1154	0.3015	0.1335	0.1038	0.2592
20 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 7	0.1351	0.0124	0.0502	0.2775	0.1393	0.2922	0.3344	0.0943	0.3106
20 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 5	0.1645	0.0308	0.0552	0.3234	0.1409	0.3149	0.2464	0.0877	0.2608
20 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 6	0.1980	0.0077	0.0271	0.2731	0.1546	0.3670	0.3290	0.1072	0.3309
20 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 7	0.1645	0.0308	0.0552	0.3234	0.1409	0.3149	0.2464	0.0877	0.2608
20 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 5	0.1154	0.0035	0.0129	0.2387	0.1186	0.2863	0.2467	0.0719	0.1950
20 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 6	0.1778	0.0000	0.0000	0.2698	0.0774	0.2489	0.1188	0.0923	0.2853
20 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 7	0.1745	0.0046	0.0260	0.2857	0.1357	0.3467	0.2173	0.0758	0.2552
30 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 7	0.1331	0.0236	0.0734	0.2678	0.0917	0.3017	0.1950	0.0897	0.2817
30 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 8	0.1489	0.0111	0.0386	0.2955	0.0778	0.2497	0.2342	0.0751	0.2575
30 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 9	0.1391	0.0104	0.0432	0.3944	0.0999	0.3627	0.2292	0.0655	0.2230
30 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 7	0.1393	0.0085	0.0448	0.1387	0.1182	0.3251	0.1919	0.0672	0.2460
30 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 8	0.1258	0.0083	0.0348	0.2823	0.1027	0.3061	0.1451	0.0754	0.2611
30 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 9	0.1248	0.0204	0.0640	0.2511	0.1126	0.3278	0.3262	0.1087	0.3313
30 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 7	0.1568	0.0051	0.0289	0.2510	0.1274	0.3376	0.2176	0.0458	0.1967
30 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 8	0.1214	0.0078	0.0279	0.1920	0.0974	0.2897	0.2476	0.0713	0.2480
30 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 9	0.1229	0.0078	0.0267	0.2318	0.1086	0.3159	0.1908	0.0629	0.2233
30 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 7	0.1726	0.0149	0.0365	0.1738	0.1308	0.3174	0.1446	0.0780	0.2238
30 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 8	0.1302	0.0112	0.0309	0.4057	0.0879	0.2913	0.1896	0.0683	0.2562
30 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 9	0.1468	0.0128	0.0555	0.2925	0.1301	0.3654	0.2079	0.0591	0.2108
30 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 7	0.1732	0.0199	0.0536	0.2506	0.0794	0.2627	0.1502	0.0708	0.2428
30 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 8	0.1800	0.0046	0.0328	0.3314	0.1150	0.3387	0.2346	0.0805	0.2798
30 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 9	0.1184	0.0230	0.0835	0.1863	0.1499	0.3355	0.2032	0.0792	0.2703
30 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 7	0.1348	0.0163	0.0507	0.3173	0.1360	0.3672	0.2521	0.0989	0.2863
30 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 8	0.1603	0.0400	0.1018	0.2183	0.1049	0.3053	0.2220	0.0900	0.2642
30 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 9	0.1481	0.0120	0.0321	0.3486	0.1447	0.3748	0.1837	0.0581	0.2280
40 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 9	0.2309	0.0000	0.0000	0.2676	0.1559	0.3808	0.2688	0.0908	0.2982
40 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 10	0.2662	0.0055	0.0281	0.2913	0.1206	0.3186	0.3053	0.1052	0.3046
40 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 11	0.2553	0.0041	0.0104	0.4165	0.2267	0.4868	0.3073	0.1817	0.4043
40 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 9	0.1763	0.0221	0.0550	0.2919	0.1741	0.3998	0.3703	0.1186	0.3137
40 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 10	0.2126	0.0236	0.0949	0.3213	0.1756	0.4166	0.2596	0.0997	0.3243
40 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 11	0.2844	0.0118	0.0395	0.2126	0.1455	0.3484	0.3308	0.0809	0.2285
40 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 9	0.2958	0.0053	0.0235	0.4481	0.1187	0.3412	0.2480	0.1116	0.3124
40 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 10	0.2554	0.0300	0.0703	0.1647	0.1793	0.4216	0.3722	0.1930	0.4193
40 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 11	0.3100	0.0026	0.0143	0.2115	0.1769	0.4070	0.3185	0.1315	0.3364
40 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 9	0.2689	0.0000	0.0068	0.4875	0.2208	0.5339	0.4478	0.1239	0.3950
40 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 10	0.2122	0.0133	0.0269	0.3338	0.1860	0.4170	0.3545	0.1514	0.3393
40 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 11	0.1754	0.0224	0.0473	0.1689	0.1794	0.4592	0.2627	0.1073	0.2974
40 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 9	0.1080	0.0030	0.0086	0.7716	0.0990	0.4251	0.1737	0.0902	0.3045
40 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 10	0.2806	0.0338	0.1003	0.3181	0.1087	0.2586	0.2172	0.0945	0.2636
40 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 11	0.1924	0.0058	0.0297	0.3633	0.1047	0.3497	0.1763	0.1082	0.3214
40 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 9	0.1887	0.0091	0.0112	0.5673	0.2438	0.5562	0.2603	0.1405	0.3259
40 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 10	0.1484	0.0107	0.0277	0.7492	0.1264	0.3498	0.2435	0.1019	0.2478
40 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 11	0.1735	0.0000	0.0103	0.3329	0.1769	0.4305	0.1877	0.0983	0.2854
50 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 11	0.1878	0.0262	0.1002	0.2299	0.1344	0.3134	0.3463	0.1234	0.3204
50 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 12	0.1564	0.0082	0.0161	0.1860	0.1081	0.3421	0.2043	0.1413	0.3517
50 ∗ [1, 2] ∗ [4, 6] ∗ 13	0.1903	0.0000	0.0000	0.2726	0.1184	0.2874	0.2658	0.1225	0.2460
50 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 11	0.1558	0.0000	0.0034	0.2823	0.1080	0.3100	0.1764	0.0940	0.2838
50 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 12	0.1787	0.0169	0.0575	0.2181	0.1005	0.3092	0.3980	0.1292	0.3503
50 ∗ [1, 2] ∗ [5, 7] ∗ 13	0.2139	0.0514	0.1253	0.2611	0.1305	0.3363	0.2134	0.1159	0.2864
50 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 11	0.2177	0.0279	0.0661	0.4901	0.1410	0.4360	0.1843	0.0890	0.2719
50 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 12	0.2208	0.0222	0.0608	0.3102	0.1418	0.3927	0.2175	0.1094	0.3635
50 ∗ [1, 2] ∗ [6, 8] ∗ 13	0.1434	0.0091	0.0181	0.3467	0.1289	0.3968	0.3834	0.1187	0.3836
50 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 11	0.2136	0.0168	0.0939	0.1921	0.1593	0.3851	0.3105	0.0848	0.2805
50 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 12	0.1502	0.0226	0.0490	0.2881	0.1591	0.3901	0.2282	0.1235	0.2532
50 ∗ [2, 3] ∗ [4, 6] ∗ 13	0.2465	0.0316	0.0804	0.5516	0.2442	0.5482	0.1684	0.0846	0.2169
50 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 11	0.2685	0.0105	0.0360	0.3180	0.2367	0.4556	0.3790	0.0967	0.3229
50 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 12	0.2661	0.0079	0.0204	0.1047	0.1130	0.3439	0.3405	0.1174	0.3050
50 ∗ [2, 3] ∗ [5, 7] ∗ 13	0.2424	0.0132	0.0408	0.3205	0.2062	0.4130	0.1761	0.0819	0.2534
50 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 11	0.0925	0.0069	0.0040	0.3357	0.1110	0.2952	0.2634	0.1017	0.2890
50 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 12	0.2268	0.0038	0.0104	0.3904	0.1292	0.3293	0.2124	0.1455	0.3110
50 ∗ [2, 3] ∗ [6, 8] ∗ 13	0.2972	0.0195	0.0557	0.4237	0.1701	0.3785	0.1748	0.0980	0.2563