Couches Conductrices et Transparentes Obtenues par Pulverisation d'une Cible de SnO₂

Abstract

SnO₂ is reactively r.f. sputtered to obtain conductive thin films of good optical transmission. Data about thermal ageing in vacuum, thermal evolution of conductivity, spontaneous ageing in air and optical transmission show how it is possible to obtain a transmission of 80% in visible light with resistance square below 1 kΩ/sq; the possibility of a multiple-step process of sputtering is presented. A “nucleation-growth” model allows an explanation of the observed phenomena.La pulvérisation haute-fréquence d'une cible de SnO₂ en présence d'argon et d'oxygène permet d'obtenir des couches minces conductrices de bonne transparence optique. A partir des phénomènes de recuit sous vide, d'évolution de la résistance avec la température, du vieillissement spontané à l'air et de la variation de la transparence optique, il est possible de déterminer la méthode permettant d'obtenir un facteur de transmission de 80% en lumière visible et une résistance carrée inférieure à 1 kΩ/sq; l'intérêt d'une pulvérisation fractionnée est explicité. Le modèle de “germination-croissance” permet une description convenable des phénomènes observés.